Рентгеновский дифрактометр характеризации тонких пленок SmartLab. Дифрактометрия тонких пленок

Способ рентгеновской дифрактометрии тонких пленок

Изобретение относится к способам рентгеновского контроля качества материалов в виде тонких пленок и может быть использовано в различных отраслях промышленности, связанных с получением тонких пленок, в том числе в микроэлектронике. Способ включает формирование падающего пучка от линейчатого источника системой щелей, ориентацию на гониометре подложки с пленкой под малым (преимущественно менее 10°) углом к оси пучка, регистрацию дифрагированного излучения с помощью приемных щелей и/или монохроматора и детектора. С целью повышения чувствительности при одновременном улучшении соотношения линий к фону увеличивают облучаемую площадь подложки, помещая линейчатый источник 1 в экваториальной плоскости гониометра, а падающий пучок формируют коллиматором Соллера 2 с пластинами, перпендикулярными экваториальной плоскости гониометра. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (5I)5 G 01 N 23/20

ОПИСАНИЕ И30БРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4337151/31 вЂ” 25 (22) 03.12.87 (46) 15.01.90. Бюл. 11 2 (71) Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов АН СССР (72) В,В. Аристов и Л.Г. 111абельников (53) 621.386(088.8) (56) Русаков А.А. Рентгенография металлов. N. Атомиздат, 1977, с. 438.

TFD-sistern, Rigaku/Thin Film Х-ray

Diffractometr. Rigaku, CED 185 с/

/860110K0, Tokio, 1987, р. 4. (54) СПОСОБ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к способам рентгеновского контроля качества материалов в виде тонких пленок и может быть использовано в различных отраслях промьппленности, связанных с полу„„SU„„1536284 А 1

2 чением тонких пленок, в том числе в микроэлектронике. Способ включает формирование падающего пучка от линейчатого источника системой щелей, в том числе. коллиматором.Соллера, ориентацию на гониометре подложки с пленкой под малым (преимущественно менее 10 ) углом к оси пучка, регистрацию дифрагированного излучения с помощью приемных щелей и/или монохроматора и детектора. С целью повышения чувствительности при одновременном улучшении соотношения линий к фону увеличивают облучаемую площадь подложки, помещая линейчатый источник 1 в экваториальной плоскости гониометра, а падающий пучок формируют коллиматором Соллера 2 с пластинами, перпендикулярными экваториальной плоскости гониометра, 1 ил.

1536284

Изобретение относится к способам рентгеновского контроля качества материалов в виде тонких пленок и может быть использовано в различных отраслях промьппленности, связанных с получением тонких пленок, в ток чисI ле в микроэлектронике.

Цель изобретения вЂ” повышение чувствительности при одновременном улучше- 10 нии отношения интенсивности дифрагированного излучения к фону, На чертеже изображен ход лучей в экваториальной плоскости P при осуществлении предлагаемого способа.- 15

Устройство для реализации способа

I содержит источник I излучения, коллиматор Соллера 2 с пластинами, перпендикулярными плоскости Р, щель 3, ограничивающую расходимость падающего пуч-20 ка в направлении, перпендикулярном Р, ;подложку 4 с исследуемой пленкой, плоский монохроматор 5, детектор б излучения. На чертеже также показаны угол падения пучка на подложку (и, уд- 25 военный брэгговский угол 28 регистрируемой линии, бр "-.овский угол монохроматора 6 база коллиматора Солле9 ра L, просвет между пластинами h, с1-апертура коллиматора Соллера, R расстояние от среза коллиматора до оси гониометра.

В данном способе повынается чувствительность к выявлению слабых

1 дифракционных линий от тонких пленок

sa счет увеличения облучаемой площади

35 подложки S и повынения интенсивностей дифракционных линий при одновременном улучшении отношения сигналвЂ” фон. Увеличение S О достигается за

40 счет увеличения нирины падающего пучка в плоскости Р при сохранении размеров последнего в направлении, перпендикулярном Р, При формировании падающего пучка коллиматором Солле- 45 ра, когда пластины расположены перпендикулярно Р, ширина пучка Ъ определяется размером линейчатого источника f, помещенного в плоскости Р, и расходимостью лучка, задаваемой апертурой коллиматора Соллера с согласно выражению

b=f+d

Так как апертура коллиматора Сол55 лера определяется его конструктивными параметрами вЂ” базой L и расстоянием межпу пластинами h Я=2Ь/T.), то для типичных условий эксперимента величина второго слагаемого в (1) не превышает (0,3-0,5)f и ширина пучка

Ъ определяется, в основном, первым слагаемым. Таким образом, уменьшение х мало сказывается на величине Sо и при улучшении коллимации, приводящей к повышению пиковой интенсивности линий с сохранением уровня фона, интенсивность которого для известных источников определяется облучаемой площадью. S, достигается улучшение отношения интенсивностей линий к фону

Пример. Способ реализуют при следуюцих условиях. В качестве источника излучения используют трубку

2,ОБСВ-24 с линейчатым фокусом 10

«0,2 мм, кожух которой устанавливают так, что максимальная проекция фокуса

f=10 мм лежит в экваториальной (горизонтальной) плоскости гониометра. Материал анода вЂ” хром, режим трубки

40 кВ, 50 мА. Падающий пучок формируют с помощью коллиматора Соллера 2 с вертикальными пластинами, смонтированного на стандартном вкладыше.

Конструктивные параметры коллиматора

2 следующие: база Ь=37 мм, угол расходимости o(=1, просвет между пластинами 0,32 мм, коэффициент пропускания 76%. Вертикальную расходимость пучка ограничивают щелью 3 с высотой

8 мм, В качестве подложки 4 берут пластину кремния диаметром 76 мм, вырезанную по плоскости с напыленной пленкой золота толщиной 0,1 мкм, Подложку ориентируют на гониометре БГ-0 о под углом =8,8 Регистрацию дифрагированного излучения производят с помощью плоского графитового монохроматора 5 на отражении (00,2) с межплоскостным расстоянием

d=3,354 А и детектора БДС-б. Измеренная интенсивность .пинии 220 с дифракционным углом 20=105,7 составляет I

12о линии над фоном в 2,5 раза, Соответствующие измерения I, по способупрототипу при равных режимах трубки, угле, падения и горизонтальной расходимости пучка дают значение 188 имп/с, Соотношение сигнал вЂ” фоч для способа-прототипа при.уровне фона

85 имп/с равно 2,2, Облу аемая площадь подложки увеличивается lIo сравнеию с прототипом в 4,9 раэ вЂ” с ?,5 до 12,1 см

Формула изобретения

Составитель О. Алешко-Ожевский

Редактор И. Касарда Техред M.Õîäàíè÷ Корректор

В.Кабаций с

Заказ 104

Тираж 488

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ t:(, (:Р

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 1 11

5 !5362

Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает повышение чувствительности, определяемое по отношению интенсивностей линии (220), не менее, чем в 3,7 раза при одновременном улучшении соотношения сигнал- фон. Достоинством предлагаемого способа является также повышение достоверности результатов, получаемых при рентгенофазовом анализе, за счет увеличения облучаемой площади подложки.

Способ рентгеновской дифрактометрии тонких пленок, включающий формирование падающего пучка от линейчато1

84 6 го источника системой щелей, содержащей коллиматор Соллера, ориентацию на гониометре подложки с пленкой под малым углом к оси пучка в экваториальной плоскости, формирование дифрагированного излучения с помощью приемI ных щелей и/или плоского монохроматора и его регистрацию детектором, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения чувствительности при одновременном улучшении отношения интенсивности дифрагированного излучения к фону, располагают лннейчатый источник.в экваториальной плоскости гониометра, а коллиматор Соллера располагают так, что его пластины перпендикулярны экваториальной плоскости гониометра.

www.findpatent.ru

Многоцелевой рентгеновский дифрактометр | Rigaku

PDXL – это пакет программ с полным набором функций для обработки данных порошковой дифрактометрии. Модульная архитектура, расширенные функциональные возможности и дружественный направляющий интерфейс удовлетворят как опытных пользователей, так и новичков.

PDXL предоставляет возможность проведения различного анализа, например, автоматический качественный фазовый анализ, количественный фазовый анализ, определение размера кристаллитов, уточнение параметра решетки, уточнение структуры методом Ритфельда, расшифровку кристаллической структуры Ab initio и т.д.

Метод фундаментальных параметров

Форма пика в дифракционной картине, наблюдаемой при рентгенофазовом исследовании структуры порошковых материалов, имеет форму дельта-функции. На самом деле, форма пика изменяется в зависимости от условий измерения: распределение длин волн источника, оптические системы, используемые щели, размеры кристаллитов и степени искажений кристаллической решетки, и т. д. Экспериментальные профили отражений хорошо аппроксимируются эмпирическими функциями, такими как функции псевдо-Фойгта или Пирсона VII. Метод фундаментальных параметров позволяет рассчитать форму пика, используя свертку функций, отвечающих за инструментальный вклад и образец.

Качественный фазовый анализ с COD

Открытая кристаллографическая база данных (COD) является бесплатной общедоступной базой данных кристаллических структур изданной в Интернациональном объединении кристаллографии, Минералогического общества Америки и т.д. Пакет программ PDXL позволяет использовать одновременно базы данных ICDD/PDF-2 и COD, для проведения автоматического качественного фазового анализа. Дополнительное подключение библиотеки COD, расширяет ваши возможности, добавляя более 150 000 кристаллических структур к уже существующим возможностям пакета PDXL 2.

Пользовательский интерфейс для расшифровки структуры исходя из первый принципов (ab initio)

В последнее время появилось множество опубликованных примеров анализа кристаллической структуры ab initio, проведенного по дифракционным данным от порошковых материалов. Это обусловлено в первую очередь значительным улучшением скорости работы ПК и эффективностью алгоритмов, используемых для определения структуры.

До настоящего времени, пакет программ PDXL предоставлял необходимые для анализа кристаллической структуры ab initio функции, такие как индицирование, определение структуры и уточнение структуры методом Ритвельда. Теперь в пакете PDXL доступен "Мастер для Анализа структуры", который поможет вам провести сложный структурный анализ, в частности органических соединений. Этот мастер позволяет даже начинающему пользователю успешно выполнять анализ.

Функция группирования Функция кластеризации в пакете PDXL может сгруппировать многочисленные данные, полученные в ходе эксперимента на основе сходства дифракционных картин порошковых материалов и положений пиков, и показать сгруппированые данные в виде удобного для чтения дерева. Это особенно эффективно, когда речь идет о классификации и сортировке данных из большого количества сканирований.

www.rigaku.com

Интеллектуальная рентгеновская дифракционная система | Rigaku

New integrated software package for SmartLab systems

One-stop software package for both measurements and analyses

SmartLab Studio II is a new software package that integrates all the measurements and analyses you need on the SmartLab. You can focus on your X-ray analysis without wasting time, since the start-up time of SmartLab Studio II and the number of logins are minimized. Just one click switches from measurement to analysis. You can also watch scans from one experiment in real-time while simultaneously analyzing other data on the same desktop by selecting an appropriate layout.

User Guidance

User Guidance, which incorporates the acquired knowledge and experience of Rigaku application scientists, will lead you to the absolute best data. It selects the best optics for each application and performs the optics alignment automatically. User Guidance then automatically aligns the sample and generates the necessary measurement conditions, even for complicated measurements. A Package, which is an automated measurement sequence, has all the information that the measurement requires. Some Packages for hardware maintenance are preinstalled so users won't have to perform manual optics alignment or detector adjustment after changing sealed tubes, for example. And users can create their own Packages , which can be saved for future use at any time.

Applications

Most analysis conditions are determined by SmartLab Studio II based on the loaded data, so novice users can obtain as good analysis results as possible. Furthermore, SmartLab Studio II prepares various parameters and enables you to set more detailed conditions than before, which will satisfy advanced-level users. Since SmartLab Studio II is an integrated software package, basic software features like user administration, materials database, etc. are completely unified. This minimizes the time needed to learn how to use the software. Sophisticated features, such as new graphics and report creation, are also easy to master, and will strongly support you in evaluating your analysis results, preparing attractive presentations, and so forth.

Database and network licensing

Measurement data and analysis results are stored in a database that comes equipped with powerful utilities for data retrieval, data browsing, data backup, etc. This is especially beneficial when managing the large numbers of huge data images obtained using a 2D detector. And now a network license is available for SmartLab Studio II. If a lot of users use the same SmartLab system, the management of a large number of data can easily be centralized by using both database and network licensing.

www.rigaku.com

из тенких пленок в In-plane геометрии

Возможность осуществления сканирования в двух взаимно-перпендикулярных плоскостях без необходимости перенастройки системы является революционным прорывом в дифрактометрии тонких пленок. Использование in-plane геометрии позволяет проводить анализ пленок толщиной до 1 нм. В такой геометрии можно определять параметры решетки в плоскости образца, а также определять ориентационные соотношения в системе пленка /подложка, что недоступно при использовании стандартной геометрии.

Области применения:

Идентификация фаз
Толщина
Текстура/ориентация
Качество интерфейса
Структурное совершенство
Плотность
Деформация/напряжение

Использование геометрии скользящего падения пучка является исключительно важным при анализе пленок, полученных фотокатализом. Использование СВО оптики позволяет проводить измерения порошков и объемных материалов. На рисунке слева показано преимущество использования геометрии скользящего падения пучка по сравнению с обычной симметричной геометрией θ/2θ сканирования. На дифрактограмме, при съемке в геометрии скользящего падения пучка, отчетливо наблюдаются рефлексы от тонкой пленки, которые не удается зарегистрировать в обычной геометрии.

Использование геометрии съемки в двух взаимно-перпендикулярных плоскостях позволяет получать полную информацию о текстуре тонких пленок. На рисунке приведены данные сканирования в плоскостях (00L) и (HK0) для пленки Si/pentacene толщиной 50 нм. Съемка в in-plane геометрии проводилась при угле падения рентгеновского излучения равном 0.18° и в итоге позволила получить уникальную информацию об ориентации тонкой пленки.

Рентгеновская рефлектометрия (XRR) используется для определения толщины пленок, шероховатости поверхности, качества интенфейса и плотности в многослойных структурах. Перестройка системы буквально одним касанием и автоматическая юстировка системы является решающей при переводе системы в режим рефлектометра, что в итоге обеспечивает простоту проведения измерений. На рисунке внизу приведены экспериментальная и расчетная кривые зеркального отражения окисленных слоев GaAs, GaAs, InGaAs на подложке GaAs.

www.rigaku.com

Рентгеновский дифрактометр характеризации тонких пленок SmartLab

С прибором SmartLab даже при отсутствии профессиональных знаний стало возможным проведение традиционно сложных измерений тонких пленок, таких как измерение толщины пленки, определение ориентации, измерение распределения по размерам гранул и пор и т.д.

Основные характеристики прибора:

Guidance функция управления Программное обеспечение Smart Lab Guidance TM, сконцентрировавшее в себе аналитические технологии Ригаку, автоматически устанавливает последовательность измерения: от подбора каждому образцу наиболее подходящего модуля оптической системы до создания необходимых условий измерения и проведения самого измерения;
CBO технология Запатентованная Ригаку Оптическая технология перекрестных лучей (Cross Beam Optics TM（CBO）) входит в базовую комплектацию прибора, а процесс переключения многообразных стандартных оптических систем значительно упрощен. Кроме этого являющаяся собственной разработкой Ригаку регулирующая функция оптических систем еще более усовершенствована, поскольку установка и юстировка многообразных видов оптических систем высокого разрешения полностью автоматизированы;
При увеличении интенсивности рентгеновского излучения втрое, потребление электроэнергии снижено вдвое. В результате комплексного использования недавно разработанного источника рентгеновского излучения с вращающимся анодом и многообразной оптической системы удалось увеличить интенсивность рентгеновского излучения втрое по сравнению с предыдущими моделями, снизив при этом наполовину эксплуатационные расходы;
Методика сохранения горизонтального положения измеряемого образца. Методика позволяет установить образец, избегая искажений и т.п. тонкопленочных образцов. В результате этого возможно измерять образцы до 200 мм диаметром, а в случае area map измерений, то есть измерений с показом точки измерения, можно измерять образцы до 100 мм диаметром;
Можно применять разнообразные методы характеризации тонких пленок. Для установки наиболее оптимальной последовательности проведения измерения образца достаточно ввести только предполагаемую по данным экспозиции толщину пленки и ожидаемую кристалличность. Программное обеспечение Guidance может применяться в следующих характеризациях тонких пленок: композиционный анализ, анализ направления и ориентации, характеризация кристалличности, характеризация релаксации решетки, характеризация деформаций и остаточных напряжений решетки, анализ толщины пленки, шероховатости интерфейса, анализ плотности пленки, характеризация однородности в плоскости и т.д.;
Упрощены измерения методом малоуглового рентгеновского рассеяния Подробный экспериментально-расчетный анализ данных малоуглового рентгеновского рассеяния легко осуществим благодаря использованию программного обеспечения NANO - SolverTM, являющегося собственной разработкой Ригаку. Программное обеспечение NANO - SolverTM может применяться в следующих многообразных измерениях малоуглового рентгеновского рассеяния: экспериментально-расчетный анализ распределения по размерам наночастиц жидких дисперсий, экспериментально-расчетный анализ распределения по размерам наночастиц и пор тонких пленок и внутри массивных образцов, характеризация формы наночастиц и пор, экспериментально-расчетный анализ корреляционной функции распределения нерегулярной электронной плотности и т.д.;
Легко осуществим экспериментально-расчетный анализ порошковых образцов. SmartLab®осуществляет поддержку, проводя на экране удобный для пользователя диалог. Основываясь на имеющейся информации об образце, предлагает оптическую систему измерения, юстирует оптические элементы, устанавливает условия измерения, затем проводит последовательность процессов вплоть получения данных измерения. SmartLab® применяется при различных исследованиях порошковых образцов: качественный анализ, количественный анализ, характеризация степени кристалличности, характеризация размера кристаллитов / искажений решетки, уточнение постоянной решетки, экспериментально-расчетный Ритвельд анализ и т.д.;
Упрощена работа по замене блоков. Благодаря использованию разъемов контактного типа при замене блока на блок, соответствующий измерению, нет необходимости в переключении проводов и отключении источника питания. Кто бы то ни был с легкостью справится с заменой образца и оптической системы. * Дизайн прибора базируется на законах эргономичной инженерии. Даже люди высокого роста могут работать в естественных позах, не испытывая чувства стесненности. Кроме того улучшена обзорность камеры: вне зависимости от нахождения в сидячем или стоячем положении можно наблюдать происходящее внутри измерительный камеры, поскольку смотровые окна находятся в соответствии с различным уровнем глаз на двух уровнях, в нижней и верхней части прибора, и к тому же в двух разных плоскостях.

protonkzn.ru

Рентгеновский дифрактометр характеризации тонких пленок SmartLab

Основные характеристики прибора:

Guidance функция управления Программное обеспечение Smart Lab Guidance TM, сконцентрировавшее в себе аналитические технологии Ригаку, автоматически устанавливает последовательность измерения: от подбора каждому образцу наиболее подходящего модуля оптической системы до создания необходимых условий измерения и проведения самого измерения;
CBO технология Запатентованная Ригаку Оптическая технология перекрестных лучей (Cross Beam Optics TM（CBO）) входит в базовую комплектацию прибора, а процесс переключения многообразных стандартных оптических систем значительно упрощен. Кроме этого являющаяся собственной разработкой Ригаку регулирующая функция оптических систем еще более усовершенствована, поскольку установка и юстировка многообразных видов оптических систем высокого разрешения полностью автоматизированы;
При увеличении интенсивности рентгеновского излучения втрое, потребление электроэнергии снижено вдвое. В результате комплексного использования недавно разработанного источника рентгеновского излучения с вращающимся анодом и многообразной оптической системы удалось увеличить интенсивность рентгеновского излучения втрое по сравнению с предыдущими моделями, снизив при этом наполовину эксплуатационные расходы;
Методика сохранения горизонтального положения измеряемого образца. Методика позволяет установить образец, избегая искажений и т.п. тонкопленочных образцов. В результате этого возможно измерять образцы до 200 мм диаметром, а в случае area map измерений, то есть измерений с показом точки измерения, можно измерять образцы до 100 мм диаметром;
Можно применять разнообразные методы характеризации тонких пленок. Для установки наиболее оптимальной последовательности проведения измерения образца достаточно ввести только предполагаемую по данным экспозиции толщину пленки и ожидаемую кристалличность. Программное обеспечение Guidance может применяться в следующих характеризациях тонких пленок: композиционный анализ, анализ направления и ориентации, характеризация кристалличности, характеризация релаксации решетки, характеризация деформаций и остаточных напряжений решетки, анализ толщины пленки, шероховатости интерфейса, анализ плотности пленки, характеризация однородности в плоскости и т.д.;
Упрощены измерения методом малоуглового рентгеновского рассеяния Подробный экспериментально-расчетный анализ данных малоуглового рентгеновского рассеяния легко осуществим благодаря использованию программного обеспечения NANO - SolverTM, являющегося собственной разработкой Ригаку. Программное обеспечение NANO - SolverTM может применяться в следующих многообразных измерениях малоуглового рентгеновского рассеяния: экспериментально-расчетный анализ распределения по размерам наночастиц жидких дисперсий, экспериментально-расчетный анализ распределения по размерам наночастиц и пор тонких пленок и внутри массивных образцов, характеризация формы наночастиц и пор, экспериментально-расчетный анализ корреляционной функции распределения нерегулярной электронной плотности и т.д.;
Легко осуществим экспериментально-расчетный анализ порошковых образцов. SmartLab®осуществляет поддержку, проводя на экране удобный для пользователя диалог. Основываясь на имеющейся информации об образце, предлагает оптическую систему измерения, юстирует оптические элементы, устанавливает условия измерения, затем проводит последовательность процессов вплоть получения данных измерения. SmartLab® применяется при различных исследованиях порошковых образцов: качественный анализ, количественный анализ, характеризация степени кристалличности, характеризация размера кристаллитов / искажений решетки, уточнение постоянной решетки, экспериментально-расчетный Ритвельд анализ и т.д.;
Упрощена работа по замене блоков. Благодаря использованию разъемов контактного типа при замене блока на блок, соответствующий измерению, нет необходимости в переключении проводов и отключении источника питания. Кто бы то ни был с легкостью справится с заменой образца и оптической системы. * Дизайн прибора базируется на законах эргономичной инженерии. Даже люди высокого роста могут работать в естественных позах, не испытывая чувства стесненности. Кроме того улучшена обзорность камеры: вне зависимости от нахождения в сидячем или стоячем положении можно наблюдать происходящее внутри измерительный камеры, поскольку смотровые окна находятся в соответствии с различным уровнем глаз на двух уровнях, в нижней и верхней части прибора, и к тому же в двух разных плоскостях.

protonkzn.ru

Рентгеновский дифрактометр характеризации тонких пленок SmartLab

Основные характеристики прибора:

Guidance функция управления Программное обеспечение Smart Lab Guidance TM, сконцентрировавшее в себе аналитические технологии Ригаку, автоматически устанавливает последовательность измерения: от подбора каждому образцу наиболее подходящего модуля оптической системы до создания необходимых условий измерения и проведения самого измерения;
CBO технология Запатентованная Ригаку Оптическая технология перекрестных лучей (Cross Beam Optics TM（CBO）) входит в базовую комплектацию прибора, а процесс переключения многообразных стандартных оптических систем значительно упрощен. Кроме этого являющаяся собственной разработкой Ригаку регулирующая функция оптических систем еще более усовершенствована, поскольку установка и юстировка многообразных видов оптических систем высокого разрешения полностью автоматизированы;
При увеличении интенсивности рентгеновского излучения втрое, потребление электроэнергии снижено вдвое. В результате комплексного использования недавно разработанного источника рентгеновского излучения с вращающимся анодом и многообразной оптической системы удалось увеличить интенсивность рентгеновского излучения втрое по сравнению с предыдущими моделями, снизив при этом наполовину эксплуатационные расходы;
Методика сохранения горизонтального положения измеряемого образца. Методика позволяет установить образец, избегая искажений и т.п. тонкопленочных образцов. В результате этого возможно измерять образцы до 200 мм диаметром, а в случае area map измерений, то есть измерений с показом точки измерения, можно измерять образцы до 100 мм диаметром;
Можно применять разнообразные методы характеризации тонких пленок. Для установки наиболее оптимальной последовательности проведения измерения образца достаточно ввести только предполагаемую по данным экспозиции толщину пленки и ожидаемую кристалличность. Программное обеспечение Guidance может применяться в следующих характеризациях тонких пленок: композиционный анализ, анализ направления и ориентации, характеризация кристалличности, характеризация релаксации решетки, характеризация деформаций и остаточных напряжений решетки, анализ толщины пленки, шероховатости интерфейса, анализ плотности пленки, характеризация однородности в плоскости и т.д.;
Упрощены измерения методом малоуглового рентгеновского рассеяния Подробный экспериментально-расчетный анализ данных малоуглового рентгеновского рассеяния легко осуществим благодаря использованию программного обеспечения NANO - SolverTM, являющегося собственной разработкой Ригаку. Программное обеспечение NANO - SolverTM может применяться в следующих многообразных измерениях малоуглового рентгеновского рассеяния: экспериментально-расчетный анализ распределения по размерам наночастиц жидких дисперсий, экспериментально-расчетный анализ распределения по размерам наночастиц и пор тонких пленок и внутри массивных образцов, характеризация формы наночастиц и пор, экспериментально-расчетный анализ корреляционной функции распределения нерегулярной электронной плотности и т.д.;
Легко осуществим экспериментально-расчетный анализ порошковых образцов. SmartLab®осуществляет поддержку, проводя на экране удобный для пользователя диалог. Основываясь на имеющейся информации об образце, предлагает оптическую систему измерения, юстирует оптические элементы, устанавливает условия измерения, затем проводит последовательность процессов вплоть получения данных измерения. SmartLab® применяется при различных исследованиях порошковых образцов: качественный анализ, количественный анализ, характеризация степени кристалличности, характеризация размера кристаллитов / искажений решетки, уточнение постоянной решетки, экспериментально-расчетный Ритвельд анализ и т.д.;
Упрощена работа по замене блоков. Благодаря использованию разъемов контактного типа при замене блока на блок, соответствующий измерению, нет необходимости в переключении проводов и отключении источника питания. Кто бы то ни был с легкостью справится с заменой образца и оптической системы. * Дизайн прибора базируется на законах эргономичной инженерии. Даже люди высокого роста могут работать в естественных позах, не испытывая чувства стесненности. Кроме того улучшена обзорность камеры: вне зависимости от нахождения в сидячем или стоячем положении можно наблюдать происходящее внутри измерительный камеры, поскольку смотровые окна находятся в соответствии с различным уровнем глаз на двух уровнях, в нижней и верхней части прибора, и к тому же в двух разных плоскостях.

protonkzn.ru